臭氧又称活氧，原子氧，分子式为O3，是经过特殊能量场（如高压电场、辐射等）能量转换，使空气中的氧分子以一种特殊形式结合的物质，因其携带有强大的氧化，还原分解能量，且分解后无残留污染，故已被广泛用于环保、净化、消毒、保健、医疗行业。

臭氧是人类已知的仅次于氟的第二位强氧化剂，臭氧在一定浓度下能与细菌、病毒等微生物产生生物化学氧化反应。臭氧能氧化分解细菌内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶，并直接与细菌、病毒发生作用，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大量分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遇到破坏。还可以渗透到细胞组织、侵入细胞膜内的遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、支原体及热原（内互素）等溶解变性死亡。

臭氧杀菌的影响因素主要受浓度、温度、湿度的影响，而与作用时间关系较小。当臭氧浓度达到一定阀值后，消毒灭菌可以瞬间完成；当臭氧消毒采用熏蒸消毒时，相对湿度高，杀菌效果较好。有研究表明：相对湿度小于35%，即使臭氧浓度较高，对空气中细菌的杀灭率也很低；随着温度的增加，臭氧的杀菌作用增强，但温度增高会使臭氧在水中的溶解度降低，因此应控制温度在约40±50℃范围。消毒效果最佳。
三、臭氧杀灭各种病毒、细菌及微生物的效果
　　 1.对细菌繁殖体：臭氧对绿脓杆菌杀灭率可达99.99%以上；对金黄色葡萄球菌、大肠杆菌、鼠伤寒沙门氏菌、福式痢疾杆、霍乱孤菌的杀灭率可达100%。
　　 2.对细菌芽孢：对枯草杆菌黑色变种芽孢杀灭率在一定条件下可达99.99%。
　　 3.对病毒：臭氧可灭活多种病毒，如乙肝原表面抗原经臭氧作用30分钟低度可降低一半，对甲型肝炎病毒肝炎破坏100%，用0.5PPM的臭氧可灭活空气中的甲型流感病毒99%，当臭氧浓度为13mg/1时可以完全灭活脊髓灰质炎病毒I型。
　　 4.对真菌：臭氧对多种霉菌灭活效果很好，如对毛霉菌、青黑菌、黑曲霉等真菌杀灭率可达100%